PARKER氣動隔膜閥技術和應用
工作原理：
派克930係列1-1 / 8英寸不鏽鋼閥體隔膜閥提供優異的泄漏完整，高循環使用壽命和低顆粒發生，非常適用於UHP半導體應用。
930係列采用不與過程流體接觸無螺紋或彈簧設計，可大限度地減少顆粒產生和截留，減少半導體應用中*的工藝汙染。
該係列閥門的嚴格設計，控製閥座和隔膜應力，以提供和免維護的使用壽命。
930係列閥門潤濕部件由特種金屬製成，提供的耐腐蝕和泄漏完整。
閥體是內部采用電拋光處理的Vericlean™ 316L不鏽鋼材質。
Vericlean™ 是派克專有的UHP不鏽鋼。隔膜是高強度鈷基合金材質。
930係列還提供聚三氟氯乙烯（PCTFE），聚醚醚酮樹脂（PEEK®）和聚酰亞胺（Vespel®）材質的閥座，可使930閥門與各種工藝流體相兼容。
這些材料結合930係列嚴格的設計特點，給予了930係列產品在入口壓力高達300 psig時度的耐腐蝕和大循環使用壽命。
930係列氣動閥可以配置限位開關或接近開關，用以提供開 - 關位置指示。
還有多種閥體構造可選，包括930Y係列（Y型閥）和SM930係列（麵板安裝）。
930係列閥門上內部（閥座）密封件和密封外的金屬部件均通過質譜儀進行氦氣泄露測試，以確保在苛刻的UHP應用中，保有其能和。
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• 通用型,使用壽命長,結構緊湊
• 用於減壓閥出口控製,氣體控製麵板和取樣分析係統
• 常開和常閉兩種形式可選
• 多種氣控執行壓力可選
• 多種手柄形式可選
• 用於減壓閥出口控製閥,氣體控製麵板和分析取樣係統
壓力等：250psig
溫度範圍: -26℃-66℃;
連接方式:卡套、NPT、PT以及ISO螺紋連接;
閥體部分材質為SS316,哈氏合金和黃銅可選;
• 過流關斷閥
• 手動和氣動控製可選
• 閥門功能不受安裝位置影響(可水平,豎直,傾斜安裝)
• 六種壓力/流量設定範圍
• 焊接接頭和1/4"NPT內螺紋接頭可選
• 清晰的顯示操作位置—"打開(重置)"或者"自動(關閉)"

PARKER氣動隔膜閥技術和應用