SUNX晶圓定位傳感器M-DW1,神視定位傳感器基本信息

規格
種類    LED式反射型
型號    M-DW1
測量距離    45mm
檢測物體    3英寸以上的半導體晶圓(注2)
可對應檢測麵    有受光方向反射麵的端麵形狀的檢測麵(注3)
檢測角度    12.5±5°(注4)
晶圓間距    間距3mm以上時，可按通常靈敏度進行分離檢測(注5)
適用晶圓盒    SEMI規格FOUP晶圓盒/開放式晶圓盒
電源電壓    12〜24V DC±10% 脈動P-P10%以下
消耗電流    65mA以下
輸出    NPN輸出／PNP輸出 可由切換開關選擇
<NPN輸出>
NPN開路集電晶體管
・zui大流入電流：100mA 
・外加電壓：30V DC以下(輸出和0V之間)
・剩餘電壓：1V以下(流入電流為100mA時) 0.4V以下(流入電流為16mA時)
<PNP輸出>
PNP開路集電晶體管
・zui大源電流：100mA
・外加電壓：30V DC以下(輸出和+V之間)
・剩餘電壓：1V以下(源電流為100mA時)
0.4V以下(源電流為16mA時)
    輸出動作    可用切換開關選擇入光時ON/非入光時ON
短路保護    裝備(自動複位)
反應時間    500μs以下

SUNX晶圓定位傳感器M-DW1,神視定位傳感器基本信息
工作狀態指示燈    橙色LED(輸出ON時亮起)
穩定指示燈    綠色LED(穩定入光時、穩定非入光時亮起點燈)
定時器功能    裝備約2ms固定斷開延遲定時器 /無效切換式
投光停止輸入    信號條件
・投光停止：斷開或4〜8V
・投光：0〜3V或9V〜+V(26.4V MAX.)
靈敏度切換輸入    信號條件
・輸入OFF：斷開或4〜8V
・輸入ON ：0〜3V或9V〜+V(26.4V MAX.)
靈敏度設定    背麵教導：按本體靈敏度設定按鈕運行
檢測靈敏度切換：本體開關2bit、4或外部輸入的2選擇式
   保護構造    IP20(IEC)
使用環境溫度    0〜＋55℃(注意不可結露)、存儲時：−10〜＋70℃
使用環境濕度    35〜85%RH、存儲時： 35〜85%RH
使用環境照明度    白熾燈：受光麵照明度3,000lx以下、熒光燈：受光麵照明度1,500lx以下
耐電壓    AC1,000V 1分鍾 所有電源連接端子與外殼之間
緣電阻    所有電源連接端子與外殼之間，20MΩ以上，基於DC250V的高阻表
耐振動    頻率10〜500Hz 雙振幅3mm X,Y和Z方向各2小時
耐衝擊    耐久98m/s2(約10G) XYZ方向各5回
投光元件    LED(調製式)
材質    外殼：ABS及SUS301、透鏡： 丙烯
電纜    0.15mm2 5芯橡皮電纜，長300mm
電纜延長    0.15mm2 以上的電纜全長可延長10m
重量    本體重量：約75g
(注1)：無的測量條件為使用環境溫度＝+20℃。
(注2)：檢測8英寸以下的晶圓時，可能會因晶圓間距、定位邊或表麵的狀態等而影響檢測。
(注3)：對於經研磨後厚度變薄的晶圓，如果其端麵呈刀刃狀，可能會因光線不能從檢測麵向受光方向反射而難以檢測。
(注4)：晶圓旋轉時，定位邊的zui大跳動角度約為±20°。
(注5)：斜向插入8英寸晶圓時的附近的間距。檢測帶定位邊的晶圓時，對於避開定位邊的檢測位置，晶圓間距變得更窄，檢測信號無法分解，變為連續的寬幅信號。